1787年，拉瓦錫首次發(fā)現(xiàn)硅存在于巖石中。

　　1800年，戴維將其錯認為一種化合物。

　　1811年蓋-呂薩克和泰納爾（Thenard, Louis Jacques）加熱鉀和四氟化硅得到不純的無定形硅，根據(jù)拉丁文silex（燧石）命名為silicon。

　　1811年，Gay-Lussac和Thenard以矽（硅）的四氟化物與堿土金屬反應，發(fā)現(xiàn)在反應當中生成赤褐色的化合物（可能是含不純物無定形的矽）。

　　1823年，硅首次作為一種元素被永斯·雅各布·貝采利烏斯發(fā)現(xiàn)，并于一年后提煉出了無定形硅，其方法與蓋-呂薩克使用的方法大致相同。他隨后還用反復清洗的方法將單質(zhì)硅提純。

　　1823年，Berzelius以氧化矽（硅）的粉末，加以鐵，碳的混和物在高溫下加熱，得到矽（硅）化鐵。但是為了抽取純的矽（硅），他使用矽（硅）-氟-鈣的化合物，干燒之后得到的固體，加水分解得到純的矽（硅）。

　　發(fā)現(xiàn)硅的榮譽歸屬于瑞典化學家J?ns Jacob Berzelius，在斯德哥爾摩（瑞典首都）于1824年，他通過加熱氟硅酸鉀和鉀獲取了硅。這個產(chǎn)物被硅酸鉀污染，但他把它放在水中攪拌，會與之反應，因此得到了相對純凈的硅粉末。

　　1824年永斯·雅各布·貝采利烏斯用同樣的方法，但經(jīng)過反復洗滌除去其中的氟硅酸，得到純無定形硅。

　　結(jié)晶性的矽則到了1854年才被提煉出來。矽（硅）的拉丁文是silicium，意為"堅硬之石"。

　　1854年H·S·C·德維爾第一次制得晶態(tài)硅。

　　硅名稱的由來：英文silicon，來自拉丁文的silex，silicis，意思為燧石（火石）。 民國初期，學者原將此元素譯為“硅”而令其讀為“xi（圭旁確可讀xi音）”（又，“硅”字本為“砉”字之異體，讀huo）。然而在當時的時空下，由于拼音方案尚未推廣普及，一般大眾多誤讀為gui。由于化學元素譯詞除中國原有命名者，多用音譯，化學學會注意到此問題，于是又創(chuàng) “矽”字避免誤讀。臺灣沿用“矽”字至今。中國大陸在1953年2月，中國科學院召開了一次全國性的化學物質(zhì)命名擴大座談會，有學者以“矽”與另外的化學元素“錫”和“硒”同音易混淆為由，通過并公布改回原名字“硅”并讀“gui”，但并未意識到其實“硅”字本亦應讀xi音。有趣的是，矽肺與矽鋼片等詞匯至今仍用矽字。在香港，兩用法皆有，但“矽”較通用。