其優(yōu)點還是很多且相當(dāng)明顯的。其一，它可以同時檢測同一樣品的多種元素，具備多元素同時檢出能力。一個樣品一經(jīng)激發(fā)，樣品中各元素都各自發(fā)射出其特征譜線，可以進行分別檢測而同時測定多種元素。其二，分析速度快，可以在幾分鐘內(nèi)對幾十個元素進行定量測定，不需要經(jīng)過化學(xué)處理。其三，選擇性好，可以應(yīng)用于一些化學(xué)性質(zhì)相似的元素的分析，分辨出不同的元素。其四，檢出限低，準(zhǔn)確度高，可廣泛應(yīng)用于多個領(lǐng)域。其五，無需過多樣品，適用于整批樣品的多組分測定。

　　當(dāng)然，ICP光譜儀目前也存在一些局限性。其一，影響譜線強度的因素較多，對標(biāo)準(zhǔn)參比的組分要求較高；其二，元素含量較高的時候，準(zhǔn)確度較差；其三，只能用于元素分析，不能進行結(jié)構(gòu)、形態(tài)的測定；其四，大多數(shù)非金屬元素難以得到靈敏的光譜線。