| 產(chǎn)地類別：國產(chǎn) | 供應(yīng)商性質(zhì)：生產(chǎn)商 | 電子槍類型：熱場發(fā)射 |
| 產(chǎn)品類型：落地式/傳統(tǒng)大型 | 二次電子圖象分辨率：0.9 nm @ 30 kV，SE | 放大倍數(shù)：1 ~ 1,000,000 x |
| 加速電壓：200 V ~ 30 kV | 電子槍種類：肖特基場發(fā)射電子槍 |
液晶顯示器( LCD)是目前廣泛使用的平板顯示器(FPD)之一，具有功耗低、外形薄、重量輕等特征。隨著LCD技術(shù)的發(fā)展，臺式液晶顯示器、筆記本液晶顯示器、手持顯示器和大尺寸液晶電視已經(jīng)越來越普及。從中國大陸TFT-LCD主要應(yīng)用產(chǎn)品的需求狀況來看，2008年中國大陸面板需求除受金融風(fēng)暴影響導(dǎo)致成長率稍稍下滑外，未來幾年預(yù)計年成長率都將達15%以上，由于國家家電下鄉(xiāng)政策的出臺，對于LCD取代CRT成為新一代主流顯示技術(shù)更是起到了推波助瀾的作用。
TFT-LCD制造過程中，主要的工藝過程分為三部分：ARRAY（陣列）工程、CELL（成盒）工程和MOUDLE（模組）工程。前者采用半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)技術(shù)，且技術(shù)已經(jīng)相當(dāng)成熟，所以目前在日韓和中國臺灣此部分的制造合格率一般都能達到95%甚至更高，而國內(nèi)自從2003年以來相繼投產(chǎn)的上廣電、京東方和龍騰光電在這一方面稍微落后一點，如何進一步降低產(chǎn)品不良率，提高產(chǎn)品品質(zhì)，成為國內(nèi)液晶面板制造行業(yè)的努力方向。
SEM4000Pro是一款分析型熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡，配備了高亮度、長壽命的肖特基場發(fā)射電子槍。三級磁透鏡設(shè)計，束流最大可達200 nA，在EDS、EBSD、WDS等應(yīng)用上具有明顯優(yōu)勢。標(biāo)配低真空模式，以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器，可觀察導(dǎo)電性弱或不導(dǎo)電樣品。標(biāo)配的光學(xué)導(dǎo)航模式，以及直觀的操作界面，讓您的分析工作倍感輕松。
超高分辨率（0.9 nm@30 kV）
低真空模式（180 Pa）
三級磁透鏡設(shè)計
200 nA大束流（選配）
機械優(yōu)中心樣品臺
快速換樣倉（最大8寸）
01配備高亮度、長壽命的肖特基熱場發(fā)射電子槍
02分辨率高，30 kV 下優(yōu)于 0.9 nm 的極限分辨率
03三級磁透鏡設(shè)計，束流可調(diào)范圍大，最大支持 200 nA 的分析束流
04無漏磁物鏡設(shè)計，可直接觀察磁性樣品
05標(biāo)配低真空模式，以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器
06標(biāo)配的光學(xué)導(dǎo)航模式，中文操作軟件，讓分析工作更輕松
水菜花花粉/低真空70 Pa/10 kV/LVD
金屬斷口/10 kV/ETD
金屬斷口/15 kV/ETD
PA-玻纖復(fù)合材料/10 kV/BSED
芯片/5 kV/ETD
銀漿/1 kV/ ETD
| 關(guān)鍵參數(shù) | 高真空分辨率 | 0.9 nm @ 30 kV，SE |
| 低真空分辨率 | 2.5 nm @ 30 kV，BSE，30 Pa | |
| 1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa | ||
| 加速電壓 | 200 V ~ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ~ 1,000,000 x | |
| 電子槍類型 | 肖特基熱場發(fā)射電子槍 | |
| 樣品室 | 真空系統(tǒng) | 全自動控制 |
| 低真空模式 | 最大180 Pa | |
| 攝像頭 | 雙攝像頭 | |
| （光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉內(nèi)監(jiān)控） | ||
| 行程 | X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm | |
| T: -10°~+70°，R: 360° | ||
| 探測器和擴展 | 標(biāo)配 | 旁側(cè)二次電子探測器（ETD） |
| 低真空二次電子探測器（LVD） | ||
| 插入式背散射電子探測器（BSED） | ||
| 選配 | 能譜儀（EDS） | |
| 背散射衍射（EBSD） | ||
| 插入式掃描透射探測器（STEM） | ||
| 樣品交換倉 | ||
| 軌跡球&旋鈕控制板 | ||
| 軟件 | 語言 | 中文 |
| 操作系統(tǒng) | Windows | |
| 導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航 | |
| 自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |
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注：該產(chǎn)品未在中華人民共和國食品藥品監(jiān)督管理部門申請醫(yī)療器械注冊和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途。
