什么是半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

2022.11.10

半導(dǎo)體參數(shù)分析儀（器件分析儀）是一種集多種測量和分析功能于一體的測試儀器，可準(zhǔn)確執(zhí)行電流-電壓（IV）和電容測量（CV（電容-電壓）、C - f（電容-頻率）以及 C – t（電容-時間）測量），并快速、輕松地對測量結(jié)果進(jìn)行分析，完成半導(dǎo)體參數(shù)測試。半導(dǎo)體參數(shù)測試是確定半導(dǎo)體器件特征及其制造過程的一項基礎(chǔ)測量。在參數(shù)測試中，通常需要進(jìn)行 IV 測量，包括分辨率低至 fA（毫微微安培）的小電流測量和高達(dá) 1 MHz 的CV 測量，并對主要特征/參數(shù)進(jìn)行分析。雖然半導(dǎo)體參數(shù)分析儀的設(shè)計初衷是進(jìn)行半導(dǎo)體評測，但因其優(yōu)越的性能、強(qiáng)大的功能以及出色的易操作性，現(xiàn)已在各種材料、器件和電子器件的 IV 和 CV 表征中得到廣泛應(yīng)用。

半導(dǎo)體參數(shù)分析儀可為表征任務(wù)提供更高的性能、更強(qiáng)的可用性以及更高的效率。參數(shù)分析儀集多種測量資源于一身，可輕松進(jìn)行 IV 和 CV 測量，無需匯集或集成多種儀器，例如電源、電壓表、電流表、LCR 表、開關(guān)矩陣等。參數(shù)分析儀的主要測量元器件是電源/測量單元（SMU）。SMU 是一種將電壓/電流源功能和電壓/電流表功能結(jié)合于單一模塊中的測量模塊。由于該參數(shù)分析儀將電源和測量電路緊密集成，所以相比使用多種獨(dú)立儀器進(jìn)行相同測量來說，可以提供更高的精度、分辨率以及更小的測量誤差。

此外，參數(shù)分析儀還具有分析功能，使您無需借助外部 PC 便可快速地交互檢查和分析顯示屏上的測量結(jié)果。由于半導(dǎo)體參數(shù)分析儀具有多種功能，因此適用于從探索分析到自動測試的各種測量環(huán)境。