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GB/T 35310-2017
200mm硅外延片

200mm silicon epitaxial wafer

GBT35310-2017, GB35310-2017


標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
GB/T 35310-2017
別名
GBT35310-2017, GB35310-2017
發(fā)布
2017年
總頁(yè)數(shù)
9頁(yè)
發(fā)布單位
中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局、中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
當(dāng)前最新
GB/T 35310-2017
 
 

GB/T 35310—2017

200 mm硅外延片

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了直徑200 mm硅外延片的術(shù)語(yǔ)和定義、產(chǎn)品分類(lèi)、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書(shū)。適用于在N型和P型硅拋光襯底片上外延生長(zhǎng)的硅外延片,主要用于制作集成電路或半導(dǎo)體器件。


專(zhuān)題


GB/T 35310-2017相似標(biāo)準(zhǔn)


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