ASTM E2090-06
使用光學(xué)和掃描電子顯微鏡從潔凈室刮水器釋放的顆粒和纖維的尺寸分化計(jì)數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法

Standard Test Method for Size-Differentiated Counting of Particles and Fibers Released from Cleanroom Wipers Using Optical and Scanning Electron Microscopy

被代替

適用范圍: 該測(cè)試方法可以對(duì)浸入清潔溶液中并施加適度機(jī)械應(yīng)力的擦拭器釋放的顆粒和纖維進(jìn)行準(zhǔn)確且可重復(fù)的計(jì)數(shù)。如果執(zhí)行正確，這種計(jì)數(shù)測(cè)試方法足夠靈敏，可以量化非常低水平的總顆粒和纖維負(fù)荷。結(jié)果準(zhǔn)確且不受偽影或粒徑限制的影響。該技術(shù)的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是，它可以對(duì)單個(gè)顆粒進(jìn)行形態(tài)學(xué)和 X 射線分析。
1.1 該測(cè)試方法涵蓋測(cè)試潔凈室和其他受控環(huán)境中使用的所有擦拭布的與顆粒清潔度相關(guān)的特性。
1.2 該測(cè)試方法包括使用基于計(jì)算機(jī)的圖像分析和計(jì)數(shù)硬件和軟件對(duì)密集顆粒過濾器進(jìn)行計(jì)數(shù)（參見）。雖然使用該設(shè)備不是絕對(duì)必要的，但強(qiáng)烈建議提高計(jì)數(shù)的準(zhǔn)確性、速度和一致性。
1.3 以 SI 單位表示的值應(yīng)被視為標(biāo)準(zhǔn)。本標(biāo)準(zhǔn)并不旨在解決所有問題與其使用相關(guān)的安全問題（如果有）。本標(biāo)準(zhǔn)的使用者有責(zé)任在使用前建立適當(dāng)?shù)陌踩徒】祵?shí)踐并確定監(jiān)管限制的適用性。