BS EN ISO 14644-8:2022
潔凈室和相關(guān)的受控環(huán)境通過化學(xué)濃度評(píng)估空氣清潔度（ACC）

Cleanrooms and associated controlled environments. Assessment of air cleanliness by chemical concentration (ACC)

適用范圍: 范圍本文件建立了典型的評(píng)估流程，以確定潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中空氣化學(xué)清潔度（ACC）的分級(jí)水平，根據(jù)特定化學(xué)物質(zhì)（個(gè)體、群體或類別）的空氣濃度，并提供了包括測試的協(xié)議確定方法、分析和時(shí)間加權(quán)因素。本文件目前僅考慮潔凈室操作條件下空氣化學(xué)污染物的濃度在10 0 g/m 3 和10 -12 g/m 3 之間。本文件不適用于空氣中化學(xué)物質(zhì)的存在不被視為對(duì)產(chǎn)品或過程構(gòu)成風(fēng)險(xiǎn)的行業(yè)、過程或生產(chǎn)。本文件的目的不是描述空氣化學(xué)污染物的性質(zhì)。本文件沒有給出表面化學(xué)污染的分類。

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