T/DLSHXH 008-2022
電子特氣 雙（二乙基氨基）硅烷

Electronic special gas bis(diethylamino)silane

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

T/DLSHXH 008-2022

發(fā)布

2022年

發(fā)布單位

中國團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)

當(dāng)前最新

T/DLSHXH 008-2022

 

 

適用范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了雙（二乙基氨基）硅烷的技術(shù)要求、檢驗(yàn)規(guī)則、試驗(yàn)方法、標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)和安全信息。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于以工業(yè)級(jí)雙（二乙基氨基）硅烷為原料，經(jīng)精餾、過濾提純制得的電子級(jí)成品雙（二乙基氨基）硅烷。該產(chǎn)品主要用于低溫制備SiO2膜和硅基高介電薄膜的前驅(qū)體。

專題

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