DIN 50438-1:1995
半導(dǎo)體工藝材料檢驗(yàn).用紅外吸收法測(cè)量硅的雜質(zhì)含量.第1部分:氧
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurity content in silicon by infrared absorption - Part 1: Oxygen
- 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
- DIN 50438-1:1995
- 發(fā)布
- 1995年
- 總頁(yè)數(shù)
- 13頁(yè)
- 發(fā)布單位
- 德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)會(huì)
- 當(dāng)前最新
- DIN 50438-1:1995
- 適用范圍
- 本文件規(guī)定了兩種紅外吸收法無(wú)損測(cè)定硅中氧含量的方法。