DIN 50450-9:2003
半導(dǎo)體工藝材料測試.載氣和摻雜氣體雜質(zhì)測定.第9部分:用氣相色譜法測定氣態(tài)氯化氫中氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、氫和C1-C3-烴類含量
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 9: Determination of oxygen, nitrogen, carbonmonoxide, carbondioxide, hydrogen and C1-C3-hydrocarbons in gaseous hydr
- 標準號
- DIN 50450-9:2003
- 發(fā)布
- 2003年
- 發(fā)布單位
- 德國標準化學(xué)會
- 替代標準
- DIN 50450-9 E:2020
- 當前最新
- DIN 50450-9:2021-07
- 被代替標準
- DIN 50450-9:2002
DIN 50450-9:2003相似標準
DIN 50450-9 E:2020-11 半導(dǎo)體工藝材料測試 載氣和摻雜氣體雜質(zhì)測定 第9部分：用氣相色譜法測定氣態(tài)氯化氫中氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、氫和C<下標1>-C<下標3>-烴類含量
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