ASTM F1374-92(2005)
氣體分配系統(tǒng)組件內(nèi)表面IC/GC/FTIR的離子/有機可萃取物的標準試驗方法

Standard Test Method for Ionic/Organic Extractables of Internal Surfaces-IC/GC/FTIR for Gas Distribution System Components

被代替

標準號

ASTM F1374-92(2005)

發(fā)布

1992年

發(fā)布單位

美國材料與試驗協(xié)會

替代標準

ASTM F1374-92(2012)

當前最新

ASTM F1374-92(2020)

 

 

適用范圍

該測試方法的目的是定義測試考慮安裝到高純度氣體分配系統(tǒng)中的電解拋光不銹鋼部件的程序。應用該測試方法預計將在測試的組件之間產(chǎn)生可比較的數(shù)據(jù)，以鑒定該安裝。如圖。 1 離子/有機貢獻數(shù)據(jù)表圖示2 離子/有機貢獻數(shù)據(jù)表 圖解1.1 本測試方法建立了測試超高純氣體分配系統(tǒng)中使用的組件的離子和有機表面殘留物的程序。
1.2 本測試方法適用于含有氣態(tài)電子級材料的在線組件。
1.3 局限性：
1.3.1 本測試方法受到檢測儀器靈敏度和提取溶劑可用純度水平的限制。雖然離子色譜和氣相色譜方法是定量的，但傅里葉變換紅外光譜 (FTIR) 方法可用作定性或定量工具。此外，還使用氣相色譜 (GC) 和 FTIR 方法來檢測殘留在部件內(nèi)表面上的碳氫化合物和鹵化物質(zhì)。這消除了那些具有高蒸氣壓的材料，這些材料是根據(jù)該測試方法在總碳氫化合物測試中進行分析的。
1.3.2 本測試方法適用于具有相當于 12 個月經(jīng)驗水平的設備使用理解水平的操作員。
1.4 以 SI 單位表示的數(shù)值應視為標準。括號中給出的英寸-磅單位僅供參考。
1.5 本標準并不旨在解決與其使用相關(guān)的所有安全問題（如果有）。本標準的使用者有責任在使用前建立適當?shù)陌踩徒】祵嵺`并確定監(jiān)管限制的適用性。具體危險說明見第 6 節(jié)。

ASTM F1374-92(2005)相似標準