GB/T 25186-2010
表面化學(xué)分析.二次離子質(zhì)譜.由離子注入?yún)⒖嘉镔|(zhì)確定相對靈敏度因子
Surface chemical analysis.Secondary-ion mass spectrometry.Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
GBT25186-2010, GB25186-2010
- 標(biāo)準(zhǔn)號
- GB/T 25186-2010
- 別名
- GBT25186-2010, GB25186-2010
- 發(fā)布
- 2010年
- 總頁數(shù)
- 7頁
- 采用標(biāo)準(zhǔn)
- ISO 18114:2003 IDT
- 發(fā)布單位
- 國家質(zhì)檢總局
- 當(dāng)前最新
- GB/T 25186-2010
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 22461-2008
- 適用范圍
- 本標(biāo)準(zhǔn)指定了一種由離子注入?yún)⒖嘉镔|(zhì)確定二次離子質(zhì)譜分析中相對靈敏度因子的方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于基體化學(xué)成分單一的樣品，其中注入物質(zhì)的峰值原子濃度不超過1%。
| 術(shù)語 | 描述 |
|---|---|
| 表面化學(xué)分析 Surface chemical analysis | 研究材料表面元素及其分布的技術(shù)。 |
| 深度剖析 Depth profiling | 通過逐層去除材料來分析其內(nèi)部結(jié)構(gòu)和成分的方法。 |
| 離子注入 Ion implantation | 將離子注入材料中以改變其物理或化學(xué)性質(zhì)的過程。 |
GB/T 25186-2010 中提到的儀器設(shè)備
| 二次離子質(zhì)譜儀 具有深度剖析功能的SIMS儀器 | 用于檢測樣品表面和內(nèi)部元素及其濃度分布的高靈敏度分析儀器。 |
| 盧卡斯背散射 spectrometer 適用于參考物質(zhì)測試 | 一種用于測試離子注入劑量的輔助設(shè)備。 |
專題
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