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GB/T 31986-2015
電子工業(yè)用氣體 八氟丙烷

Gas for electronic industry.Perfluoropropane

GBT31986-2015, GB31986-2015


標準號
GB/T 31986-2015
別名
GBT31986-2015, GB31986-2015
發(fā)布
2015年
總頁數(shù)
8頁
發(fā)布單位
國家質(zhì)檢總局
當(dāng)前最新
GB/T 31986-2015
 
 
引用標準
GB 14193 GB 15258 GB 16804 GB 190 GB 5099 GB 7144 GB/T 26571 GB/T 28726 GB/T 3723 GB/T 5832.3 GB/T 8984 危險化學(xué)品安全管理條例(2011版) 氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程(2000版) 特種設(shè)備安全監(jiān)察條例(2009版)
適用范圍
本標準規(guī)定了八氟丙烷的技術(shù)要求、試驗方法、包裝、標志、貯運和安全。 本標準適用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制備,并通過精餾、吸附、催化等工藝提純的八氟丙烷產(chǎn)品,以及碳和氟直接反應(yīng)法合成的八氟丙烷產(chǎn)品。它在電子工業(yè)等離子蝕刻工藝中作為蝕刻氣體或清洗氣體。 分子式:C3F8。 相對分子質(zhì)量:188.017(按2011年國際相對原子質(zhì)量)。
術(shù)語描述
純度
Purity
八氟丙烷的體積分數(shù),要求大于99.999。
雜質(zhì)含量
Impurity Content
包括氧、氫、氮、一氧化碳、二氧化碳等氣體的體積分數(shù),要求小于5。
酸度
Acidity
以HF計的質(zhì)量分數(shù),要求小于0.1。

GB/T 31986-2015 中提到的儀器設(shè)備

氣相色譜儀
GB/T 28726規(guī)定的切割進樣方法
用于測定八氟丙烷中的氧氣、氫氣、氮氣等雜質(zhì)。
濕式氣體流量計
多孔氣體分布管,孔度為2號。
用于酸度測定的吸收裝置。

專題


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