eds是什么分析測(cè)試方法
EDS能譜儀，是一種分析物質(zhì)元素的儀器，常與掃描電鏡或者透射電鏡聯(lián)用，在真空室下用電子束轟擊樣品表面，激發(fā)物質(zhì)發(fā)射出特征x射線。
根據(jù)特征x射線的波長，定性與半定量分析元素周期表中B-U的元素，EDS可提供樣品表面之微區(qū)定性或半定量之成份元素分析，以及特定區(qū)域之point、line
scan、mapping分析。
主要用于元素的定性分析；
能譜儀能夠分析原子序數(shù)大于5的元素，波譜儀可以分析原子序數(shù)從4～92之間的所有元素；
EDS的分析方式有點(diǎn)分析、線分析和面分析；點(diǎn)分析得到一點(diǎn)的所有元素；線分析每次對(duì)指定的一條線做一種元素分析，多次掃描得到所有元素的線分布；面分析對(duì)一個(gè)指定面內(nèi)的所有元素分析，測(cè)得元素含量是測(cè)量面范圍的平均值；
EDS做微區(qū)分析時(shí)所激發(fā)的體積為10um3 左右；
EDS常常與SEM結(jié)合使用，可對(duì)目標(biāo)部位進(jìn)行點(diǎn)、線、面形貌掃描和成分分析；
檢測(cè)極限：0.1%，只能做半定量分析，精度一般在1%到5%，深度一般為1~5微米。
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