eds和點(diǎn)掃區(qū)別
如果要分析材料微區(qū)成分元素種類與含量，往往有多種方法，打能譜就是我們最常用的手段。
能譜具有操作簡(jiǎn)單、分析速度快以及結(jié)果直觀等特點(diǎn)，最重要的是其價(jià)格相比于高大上的電鏡來(lái)說(shuō)更為低廉，因此能譜也成為了目前電鏡的標(biāo)配。
能譜EDS的采樣深度大約為1 μm，可對(duì)試樣微區(qū)內(nèi)Be~U范圍內(nèi)的元素進(jìn)行分析。根據(jù)掃描方式的不同可分為點(diǎn)掃、線掃和面掃。點(diǎn)掃和線掃都是對(duì)樣品的某一位置進(jìn)行微區(qū)元素分析，兩者區(qū)別是掃描能譜的面積大小不一。點(diǎn)掃可以給出掃描元素的相對(duì)含量，測(cè)試準(zhǔn)確性較高，常用于顯微結(jié)構(gòu)的成分分析。面掃是對(duì)樣品某一區(qū)域的元素分布進(jìn)行觀察。
EDS點(diǎn)掃
EDS 點(diǎn)分析是將電子束固定于樣品中某一點(diǎn)上，進(jìn)行定性或者定量的分析。如圖1所示是能譜點(diǎn)掃給出的峰型圖，每一種元素在圖中會(huì)出現(xiàn)一種峰，由此可以看出樣品中所含有的元素，同時(shí)，也會(huì)相對(duì)應(yīng)的給出如表1所示的元素相對(duì)含量表，表中數(shù)據(jù)展示了相對(duì)質(zhì)量分?jǐn)?shù)和相對(duì)原子分?jǐn)?shù)及誤差，誤差越大表示元素的相對(duì)含量可信度越低。
如上圖1 對(duì)樣品的某一位置進(jìn)行能譜點(diǎn)掃得到的元素圖
表1樣品的相對(duì)元素含量
EDS 線掃
EDS 線掃描分析是電子束沿一條線對(duì)樣品進(jìn)行掃描，能得到元素含量變化的線分布曲線。結(jié)合樣品形貌像對(duì)照分析，能直觀獲得元素在不同區(qū)域的分布情況。圖2可以看出，元素含量的差異與形貌結(jié)合可以分析樣品結(jié)構(gòu)上的差異。
圖2對(duì)樣品進(jìn)行線掃的結(jié)果圖
EDS 面掃
EDS 面掃描分析是電子束在樣品表面掃描，試樣表面的元素在屏幕上由亮度或彩色表現(xiàn)出來(lái)，常用來(lái)做定性分析。亮度越高，元素含量越高，結(jié)合形貌像常用于成分偏聚、相分布的研究中。從圖3中可以看出元素分布的差異，結(jié)合形貌圖對(duì)樣品進(jìn)行定性分析。
