GB/T 1555-2023
半導(dǎo)體單晶晶向測(cè)定方法
Method for Determination of Crystalline Orientation of Semiconductor Single Crystal
GBT1555-2023, GB1555-2023
- 標(biāo)準(zhǔn)號(hào)
- GB/T 1555-2023
- 別名
- GBT1555-2023, GB1555-2023
- 發(fā)布
- 2023年
- 總頁(yè)數(shù)
- 9頁(yè)
- 發(fā)布單位
- 國(guó)家質(zhì)檢總局
- 當(dāng)前最新
- GB/T 1555-2023
- 引用標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 14264 GB/T 2481.1 GB/T 2481.2
- 被代替標(biāo)準(zhǔn)
- GB/T 1555-2009
- 適用范圍
- 本文件描述了X射線衍射定向和光圖定向測(cè)定半導(dǎo)體單晶晶向的方法。 本文件適用于半導(dǎo)體單晶晶向的測(cè)定。
GB/T 1555-2023 中提到的儀器設(shè)備
| X射線測(cè)試裝置 銅靶，配備狹縫系統(tǒng)以獲得單色平行射線束 | 用于產(chǎn)生和調(diào)整X射線束的設(shè)備 |
| 探測(cè)器 用于定位衍射光束位置 | 檢測(cè)X射線衍射強(qiáng)度并記錄角度信息的設(shè)備 |
| 試樣支座 適用于半導(dǎo)體單晶材料的固定裝置 | 支撐和固定待測(cè)樣品的機(jī)械結(jié)構(gòu) |