ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020
潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境 第3部分：測試方法
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods
- 標準號
- ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020
- 發(fā)布
- 2020年
- 總頁數(shù)
- 60頁
- 發(fā)布單位
- 國際標準化組織
- 當前最新
- ISO 14644-3:2019/Amd 1:2020
- 適用范圍
- 本文件提供了支持潔凈室和潔凈區(qū)運行的測試方法，以滿足空氣潔凈度分類、其他潔凈度屬性和相關(guān)受控條件的要求。 性能測試針對兩種類型的潔凈室和潔凈區(qū)：具有單向氣流的潔凈室和潔凈區(qū)和具有非單向氣流的潔凈室和潔凈區(qū)，并在三種可能的占用狀態(tài)下進行：竣工狀態(tài)、靜止狀態(tài)和運行狀態(tài)。 提供了用于確定性能參數(shù)的測試方法、推薦的測試設(shè)備和測試程序。 如果測試方法受到潔凈室或潔凈區(qū)類型的影響，建議采用替代程序。 對于某些測試，建議使用幾種不同的方法和設(shè)備來適應(yīng)不同的最終用途考慮因素。 經(jīng)客戶和供應(yīng)商同意，可以使用本文件中未包含的替代方法。 替代方法不一定提供等效的測量結(jié)果。 本文件不適用于潔凈室、潔凈區(qū)或獨立設(shè)備中的產(chǎn)品或過程的測量。 注：本文件無意解決與其使用相關(guān)的安全注意事項（例如，使用危險材料、操作和設(shè)備時）。 本文件的用戶有責(zé)任建立適當?shù)陌踩徒】祵嵺`，并在使用前確定監(jiān)管限制的適用性。
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