ISO 14644 的這一部分規(guī)定了分離設(shè)備的設(shè)計、構(gòu)造、安裝、測試和批準的最低要求,這些要求與 ISO 14644-4 和 14644-5 中描述的潔凈室不同。
ISO 14644 這部分的應(yīng)用考慮了以下限制。
——用戶要求由客戶和供應(yīng)商商定。
——未解決特定于應(yīng)用的要求。
——未指定分立設(shè)備安裝中要適應(yīng)的具體過程。
——沒有專門考慮消防、安全和其他監(jiān)管事項;在適當?shù)那闆r下,適用國家和地方法規(guī)。
ISO 14644 的這一部分不適用于全套套裝。