DIN 50451-6:2014
半導體工藝用材料測試. 液體中痕量元素測定. 第6部分: 測定含有氫氟酸的高純度氟化銨溶液蝕刻混合物和高純度氟化銨溶液 (NH4F) 中的36種元素
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 6: Determination of 36 elements in a high-purity ammonium fluoride solution (NH4F) and in etching mixtures of high-purity ammonium fluoride solution
- 標準號
- DIN 50451-6:2014
- 發(fā)布
- 2014年
- 發(fā)布單位
- 德國標準化學會
- 替代標準
- DIN 50451-6:2014-11
- 當前最新
- DIN 50451-6:2014-11
- 引用標準
- DIN 32645:2008 DIN 50451-5:2010 DIN EN ISO 14644-1:1997 DIN EN ISO 17294-2:2005 DIN EN ISO 8655-2:2002 DIN ISO 5725-2:2002 DIN ISO 5725-4:2003
- 被代替標準
- DIN 50451-6:2012
專題
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