OS GSO ISO 20341:2014
表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜用多δ層參考材料估計(jì)深度分辨率參數(shù)的方法

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

OS GSO ISO 20341:2014

發(fā)布

2014年

發(fā)布單位

阿曼規(guī)格和計(jì)量局

當(dāng)前最新

OS GSO ISO 20341:2014

 

 

介紹

該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用多δ層參考材料來(lái)估計(jì)二次離子質(zhì)譜（SIMS）分析中的深度分辨率參數(shù)的方法。適用于表面化學(xué)分析領(lǐng)域，通過(guò)精確測(cè)量和評(píng)估參考材料的特性，以確保SIMS技術(shù)在科學(xué)研究與工業(yè)應(yīng)用中的準(zhǔn)確性。

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