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T/CNIA 0117-2021
電子工業(yè)用高純氫氟酸中痕量陰離子含量的測定 離子色譜法

Determination of trace anion content in high-purity hydrofluoric acid for electronics industry Ion chromatography


標準號
T/CNIA 0117-2021
發(fā)布
2021年
發(fā)布單位
中國團體標準
當前最新
T/CNIA 0117-2021
 
 
適用范圍
本文件規(guī)定了離子色譜法測定電子工業(yè)用高純氫氟酸中痕量陰離子（氯化物、硝酸根、磷酸根、硫酸根）的方法。 本文件適用于電子工業(yè)用高純氫氟酸中痕量陰離子含量的測定。測定范圍：10.000μg/kg～5000.000μg/kg。

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