術(shù)語(yǔ) | 描述 |
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掃描電子顯微鏡法 scanning electron microscopy (SEM) | 由電子槍發(fā)射并經(jīng)電磁透鏡聚焦的電子束在樣品表面按一定的時(shí)間、空間順序作光柵掃描,探測(cè)器接收樣品中激發(fā)的二次電子等信號(hào),在顯示器上觀察到反映樣品表面貌似的電子圖的方法。 |
環(huán)境掃描電子顯微鏡法 environmental scanning electron microscopy (ESEM) | 環(huán)境掃描電鏡是近年發(fā)展起來(lái)的新型掃描電鏡,樣品室處于低真空環(huán)境下,非導(dǎo)體及含水樣品可以不經(jīng)表面導(dǎo)電處理就能直接觀察。 |
X射線能譜法 energy dispersive spectrometry (EDS) | 用具有一定能量和強(qiáng)度的粒子束轟擊試樣物質(zhì),根據(jù)試樣物質(zhì)被激發(fā)的特征X射線能量和強(qiáng)度的關(guān)系圖實(shí)現(xiàn)對(duì)試樣的元素分析、結(jié)構(gòu)分析和表面物化特性分析的方法。 |
掃描電子顯微鏡 | 用于觀察樣品表面形貌及成分分析的高分辨率顯微鏡,可與X射線能譜儀聯(lián)用進(jìn)行元素分析。 |
環(huán)境掃描電子顯微鏡 | 適用于非導(dǎo)體和含水樣品的直接觀察,樣品室處于低真空環(huán)境下。 |
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